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2015年08月04日

MEMS方式で業界最小かつ高感度検知を実現

フォースセンサ「HSFPARシリーズ」を開発、量産を開始

「フォースセンサ「HSFPARシリーズ」を開発、量産を開始」写真

 

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 当社は、インプットデバイスの圧力検知及び産機やロボットの姿勢制御などに最適な、MEMS方式で業界最小のフォースセンサ「HSFPARシリーズ」を開発、量産を開始しました。


 昨今では、デジタル描画の人気が高まっており、高精度なペン型の入力機器(スタイラスペン)の需要が増加しています。スタイラスペンには、そのペン先の軌道を捉えると共に、筆圧に応じた描画の太さを再現すべく、フォースセンサが搭載されています。一方、より滑らかな諧調表現をするためには、高分解能のセンサを搭載する必要があり、ペン軸が太くなってしまうという課題がありました。
 また、近年注目が集まるIoTおよびロボット市場においては、接触時の荷重検知、また荷重バランスや握力の制御などに向け、小型・高感度なフォースセンサの需要が増えていくと予想されています。


 そして、これまでのフォースセンサは、主に半導体歪み抵抗素子と、金属歪み抵抗素子を用いたセンシング方式があり、半導体歪み抵抗素子を用いたフォースセンサは高感度でありながらサイズが大きく、一方、金属歪み抵抗素子を用いたフォースセンサは、感度が低いという課題がありました。


 こうした課題に対し、当社は半導体歪み素子を用いながら、独自に培ったMEMS技術とパッケージング技術を駆使することで、汎用性に優れた高感度フォースセンサ「HSFPARシリーズ」を開発、量産を開始。2.00mm×1.60mm×0.66mmと圧倒的な小型低背化を実現すると同時に、0.01Nレベルの応力から検出を可能となるため、細かな筆圧の変化やロボットの荷重移動など、高精度な検知が可能になります。


 また、本製品は、セット側での取り扱いが容易な、FPC付きのユニットタイプもラインアップ。スタイラスペンやタッチパネルといった各種インプットデバイスや、産機、ロボットなど、幅広い用途にご使用頂けます。


【主な特長】

●業界最小かつ高感度のフォースセンサ

  1. 小型低背により、薄型のセット機器にも使用可能
  2. 0.01Nレベルの小さな応力から検知可能
  3. 耐用100万回超の長寿命
  4. FPC付きのユニットタイプをラインアップ

【主な用途】

スタイラスペンなどの各種インプットデバイス

ロボットの荷重バランスや把持力の検知

各種産業機器


【販売計画】

量産開始 2015年6月
サンプル価格 SMDタイプ- 810円(税込)
ユニットタイプ - 1350円(税込)
月産 15万個(2015年6月)
開発 技術本部 長岡工場(新潟県長岡市)
生産 生産本部 長岡工場(新潟県長岡市)

 

【主な仕様】

製品名 HSFPARシリーズ
SMDタイプ 耐衝撃ユニットタイプ
外形サイズ
(W×D×H)
2.00mm×1.60mm×0.66mm 4.00mm×2.70mm×2.06mm
測定範囲 8N 7N
感度 3.7mV/V/N 3.7mV/V/N
リニアリティ <3 %FS <3 %FS
動作寿命 100万回(@8N) 100万回(@7N)
電源電圧 1.5~3.7V 1.5~3.7V
衝撃抵抗 50N 200N